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GaN基毫米波器件及工艺。 随着5G网络的应用，通信系统对于微波毫米波器件及电路有很大要求，要求器件的工作频率达到60 GHz以上。因此，对GaN基HEMT微波毫米波器件的研究有着重要价值。我们专注于200 GHz以上的GaN基HEMT器件的相关工艺技术和器件高效率、高线性度、可靠性等相关领域。